超声波清洗在半导体行业中的应用
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行业类别
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清洗对象
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主要污染物
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常用清洗剂
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电子行业
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印刷电路板、电位器、线圈、导波管、电子元件、磁性材料等
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助焊剂、防锈剂、油、石蜡、氧化物、尘、手垢
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三氯乙烯、三氯乙烷、丙酮、中性洗剂、纯水
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工艺难点：
1. 超声波可能会损伤半导体零件
2. 半导体零件对洁净度要求高
解决方法：
采用高频超声清洗
